Двухлучевой электронный микроскоп Helios 5 DualBeam

Helios 5 CX

Helios 5 UC

Helios 5 UX

Ионная оптика

Ионная колонна Tomahawk HT с превосходной производительностью высокого тока

Ионная колон Phoenix с превосходными высоковольтными и низковольтными характеристиками

Диапазон тока ионного пучка

1 пА – 100 нА

1 пА – 65 нА

Диапазон ускоряющего напряжения

500 В - 30 кВ

500 В - 30 кВ

Макс. ширина горизонтального поля

0,9 мм в точке совпадения луча

0,7 мм в точке совпадения луча

Минимальный срок службы источника

1000 часов

1000 часов

Двухступенчатая дифференциальная откачка

Коррекция времени полета (TOF)

15-позиционная полоса диафрагмы

Двухступенчатая дифференциальная откачка

Коррекция времени полета (TOF)

15-позиционная полоса диафрагмы

Электронная оптика

Колонна SEM-эмиссии полей Elstar со сверхвысоким разрешением

Колонеа SEM полевого излучения экстремального высокого разрешения Elstar

Объектив с магнитным иммерсионным объективом

Объектив с магнитным иммерсионным объективом

Высокостабильный полевой эмиссионный источник Шоттки для стабильных аналитических токов с высоким разрешением

Высокостабильный полевой эмиссионный источник Шоттки для стабильных аналитических токов с высоким разрешением

Разрешение электронного луча

На оптимальном рабочем расстоянии (WD)

0,6 нм при 30 кВ STEM

0,6 нм при 15 кВ

1,0 нм при 1 кВ

0,9 нм при 1 кВ с замедлением луча*

0,6 нм при 30 кВ STEM

0,7 нм при 1 кВ

1,0 нм при 500 В (ICD)

В совпадающей точке

0,6 нм при 15 кВ

1,5 нм при 1 кВ с замедлением луча* и DBS*

0,6 нм при 15 кВ

1,2 нм при 1 кВ

Пространство параметров электронного пучка

Диапазон тока электронного луча

0,8 пА до 176 нА

От 0,8 пА до 100 нА

Диапазон ускоряющего напряжения

200 В - 30 кВ

350 В - 30 кВ

Диапазон энергии посадки

20 эВ - 30 кЭВ

20 эВ - 30 кЭВ

Максимальная горизонтальная ширина поля

2,3 мм при 4 мм WD

2,3 мм при 4 мм WD

Детекторы

Детектор Elstar in-lens SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE)

Детектор Elstar в колонне SE/BSE (ICD)*

Детектор BSE (MD)*

Детектор Everhart-Thornley SE (ETD)

ИК-камера для просмотра образца/колонны

Высокопроизводительный внекамерный детектор электронов и ионов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE)*

Камера Thermo Scientific Nav-Cam для навигации по образцам*

Выдвижной, низковольтный, высококонтрастный, направленный, твердотельный обратный электронный детектор (DBS)*

Выдвижной детектор STEM 3+ с сегментами BF/DF/ HAADF*

Интегрированное измерение тока луча

Столик образца

Держатель

Гибкая 5-осевая моторизованная основа

Высокоточная пятиосевая моторизованная основа с пьезо-приводной осью XYR

Диапазон XY

110 мм

150 мм

Диапазон Z

65 мм

10 мм

Вращение

360° (непрерывно)

360° (непрерывно)

Диапазон наклона

-15° до +90°

-10° до +60°

Максимальная высота

85 мм до эвцентрической точки

55 мм до эвцентрической точки

Максимальный вес образца

500 г в любом положении До 5 кг при наклоне 0° (применяются некоторые ограничения)

500 г (включая держатель образца)

Максимальный размер

110 мм при полном вращении (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением)

150 мм с полным вращением (возможны большие образцы при ограниченном вращении)

Компуцентрическое вращение и наклон

Компуцентрическое вращение и наклон