МОДЕЛЬ 200 Шлифовальный станок для точечного истончения (Dimpling Grinder)

Брошюры с информацией

Расширенное описание

Шлифовальный станок для точечного истончения

МОДЕЛЬ 200

Для высококачественных образцов для трансмиссионной электронной микроскопии (ТЕМ) требуется большая электронно-прозрачная область для анализа, при этом образец должен быть достаточно прочным. Один из методов, который удовлетворяет обоим требованиям, — это точечное истончение (dimpling).

Точечное истончение — это быстрый метод, при котором одновременно вращаются образец вокруг одной оси и шлифовальный круг вокруг перпендикулярной пересекающейся оси. Такое сочетание движений позволяет уменьшить толщину центральной области образца до нескольких микрон.

Истончая только центральную область, образец сохраняет толстую и прочную внешнюю кромку, что исключает необходимость специальных методов обращения с хрупкими образцами. Абразивная суспензия, контактирующая с шлифовальным кругом и образцом, удаляет материал.

• Предварительное истончение образцов для ионного травления
• Полировка образцов до электронной прозрачности
• Контролируемое усилие и скорость шлифовки
• Шлифовка без вибраций
• Точное отображение толщины образца
• Простое программирование
• Принимает образцы, подготовленные на шлифовальном станке Fischione Model 160
• Опциональное крепление микроскопа 40× позволяет наблюдать образец без его снятия

Идеальная подготовка образцов для ионного травления

Ультраточный шлифовальный станок для точечного истончения Model 200 (Dimpling Grinder) незаменим при использовании ионного травления для окончательного истончения образцов. Поскольку образец предварительно истончен методом точечного истончения, ионное травление удаляет лишь относительно небольшое количество материала. Это позволяет получать образцы без неравномерного истончения, дефектов поверхности и повреждений от облучения.

Универсальность
Просто меняя инструменты, шлифовальный станок можно использовать для плоской шлифовки крупных образцов, точечного истончения и последующей полировки до электронной прозрачности.

Точное позиционирование образца
Ключевой элемент станка — платформа для образца, которая обеспечивает точное вращение. Образец крепится с помощью полимера с низкой температурой плавления к верхней части двухсекционной пластины (platen). Пластина устанавливается на магнитное основание, которое соединено с платформой образца с помощью редкоземельного магнита. Это магнитное соединение позволяет точно позиционировать выбранную область образца под шлифовальным кругом. Позиционирование можно наблюдать через оптический микроскоп 40×.

Образец можно легко извлечь для осмотра и затем точно вернуть на место для продолжения шлифовки. Скорость вращения образца непрерывно регулируется потенциометром на передней панели.

Оптимальное управление шлифовкой
Для эффективной подготовки и предотвращения повреждений образца электромеханическая платформа опускает шлифовальный круг с оптимальной скоростью. Это обеспечивает очень контролируемое уменьшение толщины образца. Износ шлифовального круга равномерный, практически исключает вибрации, вызванные эксцентриситетом инструмента, и гарантирует шлифовку без риска разрушения образца.

В конце процесса шлифовки продвинутая система управления автоматически останавливает вращение круга и образца и поднимает шлифовальный круг с поверхности образца.

Шлифовка без вибраций

Прецизионная посадка шлифовального круга на вал минимизирует эксцентриситет. Современные подшипники и специально разработанная приводная система практически полностью устраняют вибрации круга. Скорость вращения шлифовального круга непрерывно регулируется потенциометром на передней панели.

Шлифовальный станок для точечного истончения может использовать различные типы кругов:

• Шлифовальные круги для быстрого удаления материала без царапин.
• Полировальные круги для достижения оптимальной чистоты поверхности.
• Круги с различными диаметрами для формирования разных профилей вмятин.

Доступны различные материалы кругов, которые могут быть специально подобраны для конкретных задач.

Оптическое изображение XTEM-образца, истончённого методом точечного шлифования, состоящего из 19 отдельных секций микроэлектронного материала. Изображение сделано в проходящем свете и демонстрирует цветовой контраст, обусловленный уменьшением толщины кремния по мере приближения к центру образца.

Контролируемое усилие и скорость шлифовки

Платформа шлифовального круга поворачивается для точного позиционирования круга относительно образца. Она оснащена микрометрической регулируемой системой противовесов для контроля прилагаемого усилия шлифовки.

Контролируемое усилие и скорость шлифовки обеспечивают получение образцов исключительно высокого качества.

Простое программирование

Программирование осуществляется очень легко с помощью клавиатуры на передней панели. Подсказки проводят пользователя через быстрые и простые шаги настройки.

ЖК-дисплей постоянно отображает информацию о работе.

Нулевая позиция может быть установлена либо на поверхности пластины (platen), либо на поверхности образца. Это позволяет либо выполнить точечное истончение до заданной толщины, либо удалить определённое количество материала с образца.

Панель управления шлифовального станка для точечного истончения

Завершение процесса

Окончательная толщина образца легко задаётся для точной автономной работы. Однако в любой момент процесс можно приостановить для осмотра образца или полностью остановить. Во время шлифовки толщина образца отображается постоянно.

Шлифовальный станок для точечного истончения также оснащён режимом полировки по времени. По истечении заданного времени процесс автоматически завершает работу.

Проходящее и отражённое освещение

Пластина (platen), удерживающая образец, имеет стеклянный центр, через который свет проходит через образец от источника, расположенного под платформой. Интенсивность проходящего света регулируется для оптимального наблюдения образца. Это особенно важно при точечном истончении кремния, который изменяет цвет по мере приближения к электронной прозрачности.

Шлифовальный станок также обеспечивает освещение отражённым светом от лампы высокой интенсивности, питаемой от блока питания станка.

Микроскоп для прямого наблюдения

Крепление микроскопа 40× позволяет наблюдать образец без необходимости его снятия.